電子超純水離子交換純化裝置

電子超純水離子交換純化裝置是通過(guò)陽(yáng)樹(shù)脂、陰樹(shù)脂及混床樹(shù)脂多級(jí)離子交換，深度脫除水中金屬離子、鹽分、帶電雜質(zhì)的專(zhuān)用純水制備設(shè)備，終端出水電阻率可達(dá) 18.25MΩ?cm，滿(mǎn)足 SEMI G3-G5 級(jí)電子級(jí)超純水標(biāo)準(zhǔn)，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓清洗、光伏電池制備、電子元器件生產(chǎn)、光刻工藝配套等場(chǎng)景。裝置按產(chǎn)水量分為實(shí)驗(yàn)室小型機(jī)、中試機(jī)組與工業(yè)級(jí)大流量系統(tǒng)，全流程采用 UPVC、PVDF 等低析出材質(zhì)，杜絕二次離子污染，保障終端水質(zhì)穩(wěn)定性。

電子超純水離子交換純化裝置

整套系統(tǒng)采用多級(jí)串聯(lián)工藝架構(gòu)：前端配置預(yù)處理單元，經(jīng)精密過(guò)濾、活性炭吸附去除懸浮物與余氯，保護(hù)后續(xù)樹(shù)脂單元；核心純化段由陽(yáng)床、陰床、拋光混床逐級(jí)遞進(jìn)，陽(yáng)樹(shù)脂置換鈣鎂鈉等陽(yáng)離子，陰樹(shù)脂去除硫酸根、氯根等陰離子，末端拋光混床實(shí)現(xiàn)痕量離子深度捕獲，將總有機(jī)碳與金屬離子控制在 ppt 級(jí)別；配套樹(shù)脂在線再生系統(tǒng)，通過(guò)酸堿液反洗恢復(fù)樹(shù)脂交換容量，延長(zhǎng)設(shè)備使用壽命。裝置搭載電導(dǎo)率、電阻率、TOC 在線監(jiān)測(cè)儀表，實(shí)時(shí)反饋水質(zhì)狀態(tài)，PLC 全自動(dòng)控制產(chǎn)水、再生、切換全流程，產(chǎn)水水質(zhì)穩(wěn)定達(dá)標(biāo)，是電子制造、精密實(shí)驗(yàn)室等高純水需求場(chǎng)景的核心設(shè)備。